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北京杰瑞晟欣科技有限公司
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數(shù)字式小量程氣體質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品描述
技術(shù)參數(shù)
技術(shù)選型

產(chǎn)品簡介

TSK621系列微小型流量氣體質(zhì)量流量控制器/流量計由質(zhì)量流量傳感器、層流原件、質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大電路組成,它利用流動的流體傳遞熱量改變測量毛細管溫度分布的熱傳導分布效應(yīng)而制成,其原理是采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量,將傳感器測得的流量信號進行放大,然后與設(shè)定的信號進行比較,用所得的差值去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。用以準確可靠的測量和控制氣體質(zhì)量流量,測量和控制精度高、零飄小,測量和控制范圍寬,測量和控制的準確度不受環(huán)境溫度和外界壓力的影響,廣泛的應(yīng)用于真空鍍膜設(shè)備、半導體工藝設(shè)備、化學化工實驗設(shè)備、分析儀器、冶金材料工程、能源動力等各領(lǐng)域。

技術(shù)特點

1、采用熱式原理、氣體的質(zhì)量流量不受環(huán)境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理,便于更改量程,安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝,減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大,最大滿量程可達30ln/min
5、預(yù)熱時間短、零飄小、測量和控制精度高,適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進行通訊,操作簡單。
7、可直接與上位機連接,實現(xiàn)組網(wǎng),便于操作

未找到相應(yīng)參數(shù)組,請于后臺屬性模板中添加

技術(shù)參數(shù)

量 程: 5…500mln/min 1…30ln/min
準 確 度:±1.0%F.S
量 程 比:流量控制器:50:1 流量計:100:1
重復(fù)精度:±0.2%F.S
線性精度:±0.5%F.S
響應(yīng)時間:1…4sec
穩(wěn) 定 性:±0.1%F.S
環(huán)境溫度:5…45℃
溫度系數(shù):<±0.1%F.S/℃
泄 漏 率:<2×10-8atm.ml/s(He)
預(yù)熱時間:15min
供 電:+15…24vdc
模擬信號:0…5vdc或4…20mA
數(shù)字信號:RS232 RS485(Modbus-RTU)
本體材質(zhì):SS316不銹鋼
最大耐壓:30bar(可選60bar)
連接方式:卡套式連接(可選螺紋連接 面密封VCR或其他連接方式)
密封材質(zhì):氟橡膠 丁晴橡膠 全氟橡膠(特殊可根據(jù)客戶要求定制)
防護等級:IP40

技術(shù)選型

序 列 號: TSK621
產(chǎn)品類型: 【C】質(zhì)量流量控制器 【M】質(zhì)量流量計
耐壓等級: 【L】低耐壓 30bar 【H】高耐壓 60bar
介質(zhì)類型: 由廠家選擇
流量范圍: 【010C】10mln/min 【020C】20mln/min 【030C】30mln/min
                  【050C】50mln/min 【100C】100mln/min 【200C】200mln/min
                  【300C】300mln/min 【500C】500mln/min 【001L】1ln/min
                  【002L】2ln/min 【003L】3ln/min 【005L】5ln/min
                  【010L】 10ln/min 【020L】20ln/min 【030L】30ln/min
供電類型: 【S】24vdc 【D】+15…24vdc
模 擬 信 號: 【 V 】0…5vdc 【A】4…20mA
數(shù)字信號: 【R】RS232 【M】RS485(Modbus-RTU)
密封材質(zhì): 【V】氟橡膠 【T】EPDM 【N】氯丁橡膠 【B】丁晴橡膠 【Y】其他                                    接頭尺寸: 【A】φ3 【B】φ6 【C】φ8 【G】1/8” 【H】1/4” 【I】3/8” 【Y】其他

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